a.何謂超潔淨球閥？

光電、半導體相關產業之核外、核中、核心輸送流體之閥門。

b.開發動機：

因應市場需求及改善國內仰賴國外進口相關閥門及管配件，幫助產業降低成本及提昇國際競爭力。

c.主要適用產業：

光電、半導體、生技業

d.產品特性：

淨油、精密加工(0.03毫米內)、表面拋光處理，低洩漏

e.設計要點：

純不銹鋼材質、TEFLON材質(開關後不可產生微粒子)、加工精密度(0.03毫米內)

f.委外加工：

無塵室包裝、無塵微粒子檢測、鏡面拋光

g.檢驗：

已經金屬工業研究發展中心"氦氣測漏試驗"檢測通過