產品規格
本產品共有1/4", 3/8", 1/2"三種尺寸.
技術指標
工作壓力：≦ 10 ㎏/㎝2
耐久測試：≧ 5000 cycles
洩漏率：≦ 1x10-9 atm．cc/sec
洩漏率：≦ 1x10-9 atm．cc/sec
洩漏率：≦ 1x10-9 atm．cc/sec
性能需求
所開發的產品於上述指標環境下，
其洩露率須符合SEMI F1 規範之要求